【48812】元成股份：硅密（常州）电子设备有限公司为降低对进口零部件的依赖及成本缩短设备制造周期今年公司研发了化学品在线加热器超纯水在线加热系统部分产品已开始在客户处进行试用

  同花顺300033）金融研究中心8月17日讯，有投资者向元成股份603388）提问， 硅密（常州）电子设备有限公司有新的技术储备和产品研发成功的吗？

  公司回答表示，尊敬的投资者，您好，硅密（常州）电子设备有限公司为降低对进口零部件的依赖及成本，缩短设备制造周期，今年公司研发了化学品在线加热器，超纯水在线加热系统，部分产品已开始在客户处进行试用。 经过多年的技术开发和工艺积累，硅密（常州）电子设备有限公司在半导体清理洗涤设施的技术储备主要有：半导体材料厂用湿法清理洗涤设施，包括硅抛光片及外延片（6 寸、8 寸、12 寸），工艺路线um，第三代半导体碳化硅抛光片及外延片（6 寸、8 寸），高纯石英片/环/盘/炉管（400mm~560mm），硅环/硅电极（8 寸，12 寸）等；制造功率器件等 IC 电路芯片厂家所用湿法设备（6 寸，8 寸），工艺路线um。 未来硅密（常州）电子设备有限公司在槽式批处理湿法设备持续研究的同时，也将更看重对单片式清理洗涤设施的研发，积极争取半导体清理洗涤设施在国产替代市场的份额。谢谢！

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